电子工业中,生产单晶硅半导体材料,二极管,三极管,集成电路,光,硬盘,显象管时,都需要达到电子级标准的工艺用水,在我国,电子级水共分五个级别,部分指标如下:
指标 级别 |
EW-Ⅰ |
EW-Ⅱ |
EW-Ⅲ |
EW-Ⅳ |
EW-Ⅴ |
电阻率 MΩ.cm(<?xml:namespace prefix = st1 ns = "urn:schemas-microsoft-com:office:smarttags" /> |
18 90%时间最小17 <?xml:namespace prefix = o ns = "urn:schemas-microsoft-com:office:office" /> |
15 90%时间最小12 |
10 90%时间最小8 |
≥2 |
≥0.5 |
大于1μm微粒数,最大值,个/ml |
1 |
5 |
10 |
100 |
500 |
大于0.5μm微粒数,最大值,个/m |
100 |
300 |
500 |
1000 |
2000 |
细菌个数,最大值,个/ ml |
1 |
5 |
10 |
50 |
100 |
总有机碳含量,最大值 |
50 |
100 |
200 |
1000 |
5000 |
二氧化硅总含量,最大值 |
2 |
20 |
50 |
100 |
1000 |
电子级水基本制水流程如下:
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我司从事高纯水,超纯水设备的生产有多年历史,可按用户的需求提供达到电子级别用水的生产线。