Profilm3D光学轮廓仪

Filmetrics Profilm3D光学轮廓仪 
三维光学轮廓仪、3D 光学表面轮廓仪

低成本-高精度

Filmetrics 让光学轮廓测量价格更為实惠，Profilm3D 使用了最先进的垂直扫描干涉 (VSI) 结合高精确度相移干涉 (PSI) 测量，以前所未见的价格使得表面形貌研究进入次纳米等级。

100毫米自动XY样品平台

你还为了每位使用者都需要的功能额外付费吗? 我们每台Profilm3D 都已将自动XY样品平台以及tip/tilt 功能列为标准配备。

最大视野

The Profilm3D以10倍物镜优异地提供更宽广的2毫米视野, 其数位变焦功能有助于缓解不同应用时切换多个物镜的需要。可进一步减少总体成本，本司也提供手动或自动物镜切换炮塔等配置可弹性运用于需使用多物镜应用之样片。

性能规格
 
厚度范围, VSI:      50 nm - 10 mm
厚度范围, PSI:      0 - 3 μm
RMS 重复性, VSI:    1.0 nm
RMS 重复性, PSI:    0.1 nm
台阶高度 准确性1:   0.7%
台阶高度 重复性2:   0.1%
样品反射率范围:     0.05% - 100%
ISO 25178 兼容:     是
 

机械规格

Z 范围:             100 mm
Piezo (压电)范围:   500 μm
垂直扫描速度:       12 μm/sec
XY 平台类型:        自动
XY 平台范围:        100 mm x 100 mm
Tip/Tilt 平台:      +/- 5°, 手动
相机:               2592 x 1944 (5 百万像素)
相机变焦 3:         1X, 2X, 4X
系统尺寸，宽x深x高: 300 mm x 300 mm x 550 mm
系统重量:           15 公斤

选购配件
手动 4-物镜炮塔及位置感测
自动 4-物镜炮塔及位置感测