手持式四探针方阻测试仪

一、 概述： 参照硅片电阻率测量的国际标准（ASTM F84）及国家标准设计制造该仪器设计符合GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》、GB/T 1551-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流两探针法》、GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》，采集高精密集成电路恒流源系统，提供便捷的操作模式，便携式外形结构，可充电式电源系统，中英文语言版本. 二、 功能介绍： 便携式外形结构更加适用于车间生产、品管抽检，外出携带测量等要求快速便捷测量的场所；也适用于中小型半导体材料生产企业.具有高性价比优势. 液晶显示，显示方阻、电阻率、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度，样品厚度单位从米到纳米均可输入，自动测量、质量轻便，操作简便； 三、适用范围： 广泛用于：覆盖膜;导电高分子膜，高、低温电热膜;隔热、防辐射导电窗膜 导电(屏蔽)布、装饰膜、装饰纸;金属化标签、合金类箔膜;熔炼、烧结、溅射、涂覆、涂布层，电阻式、电容式触屏薄膜;电极涂料，其他半导体材料、薄膜材料 硅晶块、晶片电阻率及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶等材料方块电阻 半导体材料/晶圆、太阳能电池、电子元器件，导电薄膜（ITO导电膜玻璃等），金属膜，导电漆膜，蒸发铝膜，PCB铜箔膜，EMI涂层等物质的薄层电阻与电阻率 导电性油漆，导电性糊状物，导电性塑料，导电性橡胶，导电性薄膜，金属薄膜，抗静电材料， EMI 防护材料，导电性纤维，导电性陶瓷等. 四、技术参数资料 规格型号 FT-391A FT-391B FT-391C 1.方块电阻范围 10～2.00×102Ω/□ 10～2.00×103Ω/□ 10～2.00×104Ω/□ 2.电阻率范围 1～2×103Ω-cm 1～2×104Ω-cm 1～2×105Ω-cm 3.分辨率 0.01Ω 0.01Ω 0.01Ω 4.显示读数 液晶显示：电阻率、方阻、单位换算、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 5.测试方式 单电测量 6.工作电源 5V,1000mA 7.整机不确定性 ≤4.5%（标准样片结果） 8.选配 选配1.方形探头； 选配2.直线形探头；探针间距；选配3：探针间距1mm；2mm；3mm三种规格; 选配4：探针材质：碳化钨针;镀金磷铜半球形针