数字直流磁控溅射电源
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产品简介
主要特点：直流磁控溅射电源用于镀制金属膜及化合物膜，输出电压为直流，具有稳流功能，稳流精度1%.1、DSP数字化控制/精度高/重复性好，配有控制面板和控制程序。2、具有过流、过热、过压、短路保护。3、控制方式：恒压、恒流、恒功率4、冷却方式：风冷；风冷+水冷5、根据用户要求预留PLC远控接口（远控功能）主要参数及规格：空载电压：≥1200V；工作电压：200-700V；多种输出功率可供选择：2KW、5KW、10KW、20KW、30KW、50KW、80KW、100KW型号功率工作电压电流工作方式冷却方式空载电压SZL-22kW200~800V3A恒流、恒压、恒功率风冷=>1200VSZL-55kW200~800V5A恒流、恒压、恒功率风冷=>1200VSZL-1010kW200~800V15A恒流、恒压、恒功率风冷=>1200VSZL-2020kW200~800V30A恒流、恒压、恒功率风冷=>1200VSZL-3030kW200~800V40A恒流、恒压、恒功率水冷=>1200VSZL-5050kW200~800V65A恒流、恒压、恒功率水冷=>1200VSZL-7070kW200~800V90A恒流、恒压、恒功率水冷=>1200VSZL-100100kW200~800V130A恒流、恒压、恒功率水冷=>1200V ?
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