MFC3100V气体质量流量控制器

气体质量流量控制器MFC3100V
气体质量流量控制器MFC3100V，采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量，无需温度压力补偿。气体质量流量控制MFC3100V是一个可以手动设定或与电脑连接自动控制的气体流量的稳流装置，能在较宽的量程范围内快速而精确地控制气体流量。即使系统压力有波动或环境温度有轻微的变化，也不会影响其正常的工作。

气体质量流量控制器MFC3100V产品亮点：

-类    型：MFC气体质量流量控制器
-控制范围：30slpm ～ 125slpm  (sccm:标准毫升/分 slpm:标准升/分)  
-准度等级：±1% F.S
-耐    压：≤70bar
-标准接口：0-5VDC，4-20mA可选
-响应时间：≤2sec
-使用范围：2~100% for max range
-供电电源：+15~+28Vdc, 350Ma
-漏    率：1×10-9atm•cc/sec
-气路连接：1/4”SWG，1/8”SWG，3/8”SWG，1/4”VCR
-适用介质：所有气体（含腐蚀性气体和有毒气体）
-无需温度、压力补偿

气体质量流量控制器MFC3100V

产品型号 MFC3100V MFC3100A
  流量范围 (N2) 30slpm ～ 125slpm  30slpm ～ 125slpm
  响应时间  ≤2秒   ≤2秒
  准确度   ≤±1% 满量程   ≤±1% 满量程
 重复精度   ≤±0.25% 满量程  ≤±0.25% 满量程
 输出输入信号  0~5Vdc   0~5Vdc或4~20毫安
  供电  +15~+28Vdc，350毫安   +15~+28Vdc，350毫安
  耐压    ≤70 bar  ≤70 bar
 工作环境温度   0~50 °C   0~50 °C


应用领域：
－分析仪器     －干刻（RIE/DRIE）     －燃料电池
－生物技术     －气相色谱分析         －等离子刻蚀
－激光焊机     －混气配气系统         －微反应装置
－真空镀膜     －过程自动化           －石化工业
联系人：刘先生
大连风华传感科技有限公司
手机：13591785624
电话：0411-83091882
传真：0411-83091882
QQ ：572605982
网址：www.rhsens.com
email：rhsens@163.com