微控扩散炉
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产品简介
微控扩散炉主要满足半导体电力电子器件、大功率集成电路等行业，对所加工硅片进行扩散、氧化、退火、合金等工艺。主要由扩散炉加热炉体、气源系统、控制系
统、超净化操作系统等组成。选用工控机微控方式或者程控方式操作。
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