美国Aerotech高精密在转台

更多技术问题请联系 陈杨：157 0129 8260 QQ：1611 2809 42 ABR1000 空气轴承精密直驱转台 Aerotech ABR1000 空气轴承精密直驱转台提供出色的角度定位，速度稳定性和无误差运动性能。ABR1000精密转台设计用于满足晶圆检测，DVD控制，磁盘驱动器测试和伺服写入，光学检查和装配以及MEMS微型机电系统和纳米技术装置装配等苛刻要求。  ★ 直驱无刷无槽伺服电机  ★ 零齿槽效应带来显著的速度稳定性  ★ 显著的无误差无抖动运动特性  ★ 直径：175mm  ★ 分辨率：0.027-5.5 arc-sec  ★ 双向重复性：< 1 arc-sec  ★ 定位精度：±2 arc-sec ARMS 机械轴承精密直驱转台 ARMS Direct Drive Rotary Stage Aerotech的ARMS系列直驱旋转平台为惯性部件和系统提供优秀的角速率、加速度和定位，例如：微电子机械系统、陀螺仪、惯性测量单元、航空电子设备和导航加速度计。 孔径：8 mm - 25 mm 分辨率：0.02 - 2 arc sec 精度：（校准）±2.5 arc sec Aerotech 的 ABRT 系列空气轴承精密直驱转台提供出众的角度定位，速度稳定性和无误差运动性能，并且拥有令人印象深刻的有效负载能力及显著的轴向和径向刚性。ABRT 精密转台设计用于当前的 DVD 母盘制作， wafer 检查，高精度度量衡应用， X射线衍射系统，光学检查和加工，以及微型机电系统(MEMS)/纳米技术装置的制造装配等应用。 ★ 台面直径：100-200 mm ★ 分辨率：0.055-0.027 arc sec ★ 双向重复性： <1 arc sec Aerotech 的 ADRT 系列精密直驱转台提供出众的角度定位和速度控制。ADRT精密转台应用范围从分度到高速激光设备到精密硅片检测。 ★ 直径：146 - 260 mm ★ 精度：±30 arc sec ★ 负载：30 - 173 kg ADR175/240 机械轴承精密直驱转台 ADR75 机械轴承精密直驱转台 ADR75 Direct Drive Rotary Stage Aerotech的ADR系列直驱旋转平台提供出色的角度定位和速度控制。典型应用包括高速激光加工和精密晶圆检查。 直径：75 mm 精度：±5 arc sec 负载：3 kg ADR175/240 Direct Drive Rotary Stage Aerotech的ADR系列直驱旋转平台提供出色的角度定位和速度控制。其应用范围从高速激光加工到精密硅片检查。 直径：175 mm 精度：±5 arc sec ADR160 机械轴承精密直驱转台 更高的重复性和精度。 直径：160 mm 精度：±5 arc sec 负载：25 kg 负载：25 kg 直径：240 mm 精度： ±1 arc sec 负载：135 kg ABR1000 空气轴承精密直驱转台 Aerotech ABR1000 空气轴承精密直驱转台提供出色的角度定位，速度稳定性和无误差运动性能。ABR1000精密转台设计用于满足晶圆检测，DVD控制，磁盘驱动器测试和伺服写入，光学检查和装配以及MEMS微型机电系统和纳米技术装置装配等苛刻要求。  ★ 直驱无刷无槽伺服电机  ★ 零齿槽效应带来显著的速度稳定性  ★ 显著的无误差无抖动运动特性  ★ 直径：175mm  ★ 分辨率：0.027-5.5 arc-sec  ★ 双向重复性：< 1 arc-sec  ★ 定位精度：±2 arc-sec ABR1000 空气轴承精密直驱转台 Aerotech ABR1000 空气轴承精密直驱转台提供出色的角度定位，速度稳定性和无误差运动性能。ABR1000精密转台设计用于满足晶圆检测，DVD控制，磁盘驱动器测试和伺服写入，光学检查和装配以及MEMS微型机电系统和纳米技术装置装配等苛刻要求。  ★ 直驱无刷无槽伺服电机  ★ 零齿槽效应带来显著的速度稳定性  ★ 显著的无误差无抖动运动特性  ★ 直径：175mm  ★ 分辨率：0.027-5.5 arc-sec  ★ 双向重复性：< 1 arc-sec  ★ 定位精度：±2 arc-sec